سيمي ڪنڊڪٽر (FAB) صاف ڪمري ۾ نسبتي نمي جو هدفي قدر

هڪ سيمي ڪنڊڪٽر (FAB) صاف ڪمري ۾ نسبتي نمي جي هدف قدر تقريبن 30 کان 50٪ آهي، جيڪا ±1٪ جي غلطي جي هڪ تنگ مارجن جي اجازت ڏئي ٿي، جهڙوڪ لٿوگرافي زون ۾ - يا پري الٽراوائليٽ پروسيسنگ (DUV) زون ۾ ان کان به گهٽ - جڏهن ته ٻين هنڌن تي ان کي ±5٪ تائين آرام ڪري سگهجي ٿو.
ڇاڪاڻ ته نسبتي نمي ۾ ڪيترائي عنصر آهن جيڪي صاف ڪمرن جي مجموعي ڪارڪردگي کي گهٽائي سگهن ٿا، جن ۾ شامل آهن:
1. بيڪٽيريا جي واڌ؛
2. عملي لاءِ ڪمري جي گرمي پد جي آرام جي حد؛
3. اليڪٽرو اسٽيٽڪ چارج ظاهر ٿئي ٿو؛
4. ڌاتو جي سنکنرن؛
5. پاڻي جي بخارات جو ڳرڻ؛
6. لٿوگرافي جي خرابي؛
7. پاڻي جذب ڪرڻ.

بيڪٽيريا ۽ ٻيا حياتياتي آلودگي (ڦڦڙا، وائرس، فنگس، مائٽس) 60 سيڪڙو کان وڌيڪ نمي واري ماحول ۾ ترقي ڪري سگهن ٿا. ڪجهه بيڪٽيريا برادريون 30 سيڪڙو کان وڌيڪ نمي تي وڌي سگهن ٿيون. ڪمپني جو خيال آهي ته نمي کي 40 سيڪڙو کان 60 سيڪڙو جي حد ۾ ڪنٽرول ڪيو وڃي، جيڪو بيڪٽيريا ۽ سانس جي انفيڪشن جي اثر کي گهٽائي سگهي ٿو.

40٪ کان 60٪ جي حد ۾ نسبتي نمي پڻ انساني آرام لاءِ هڪ معتدل حد آهي. تمام گهڻي نمي ماڻهن کي گڙٻڙ محسوس ڪرائي سگهي ٿي، جڏهن ته 30٪ کان گهٽ نمي ماڻهن کي خشڪ، ڦاٽل چمڙي، ساهه کڻڻ ۾ تڪليف ۽ جذباتي بي آرامي محسوس ڪرائي سگهي ٿي.

وڌيڪ نمي اصل ۾ صاف ڪمري جي مٿاڇري تي اليڪٽرو اسٽيٽڪ چارجز جي جمع کي گھٽائي ٿي - هڪ گهربل نتيجو. گهٽ نمي چارج جي جمع لاءِ مثالي آهي ۽ اليڪٽرو اسٽيٽڪ خارج ٿيڻ جو هڪ امڪاني طور تي نقصانڪار ذريعو آهي. جڏهن نسبتي نمي 50٪ کان وڌيڪ هوندي آهي، ته اليڪٽرو اسٽيٽڪ چارجز تيزي سان ختم ٿيڻ شروع ڪندا آهن، پر جڏهن نسبتي نمي 30٪ کان گهٽ هوندي آهي، ته اهي هڪ انسوليٽر يا غير زميني مٿاڇري تي ڊگهي وقت تائين برقرار رهي سگهن ٿا.

35٪ ۽ 40٪ جي وچ ۾ نسبتي نمي کي اطمينان بخش سمجهوتو طور استعمال ڪري سگهجي ٿو، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر صاف ڪمرا عام طور تي اليڪٽرو اسٽيٽڪ چارجز جي جمع کي محدود ڪرڻ لاءِ اضافي ڪنٽرول استعمال ڪندا آهن.

ڪيترن ئي ڪيميائي رد عملن جي رفتار، جن ۾ سنکنرن جا عمل شامل آهن، نسبتي نمي جي واڌ سان وڌندي. صاف ڪمري جي چوڌاري هوا جي سامهون ايندڙ سڀئي سطحون تيز آهن.